RESEARCH
依托多年积累的技术实力，开发涵盖所有工艺的半导体材料
本公司的电子材料研究所是一家半导体材料事业的
核心研发机构，自2006年成立以来，始终坚持开发电子
材料级高纯度材料，凭借于此，现已拥有合成与精密
Formulation技术。
依托高水平专业研究团队，专注于开发适用于半导体工
艺的尖端材料，并凭借差异化的技术实力和独家开发能力，
谋求电子材料产业的发展并拓展至多种应用领域。
在Chemtronics电子材料研究所，我们研发包括溶剂、高分子、
电化学材料在内的多种材料，并以溶剂为核心，推动中长期增长。
主要研发课题
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01. 半导体硬掩模材料开发
开发用于提高针对微细工艺优化的抗蚀性及等离子体抗性的硬掩模用高功能性Polymer
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02. 光刻工艺用单体及添加剂合成研究
设计并合成用于提高EUV及ArF工艺中的光刻胶材料性能的高纯度单体及功能性添加剂
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03. 半导体工艺用清洗液开发
开发用于提高晶圆清洗及光刻胶/残留物清除效率的高纯度、高稳定性清洁化学品
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04. 聚合物开发
开发在微细图案加工工艺中提供卓越耐蚀性和热稳定性的基于高分子的材料
