Silicon Wafer
150 mm ▪ 200 mm ▪ 300 mm
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Wafer 박막 제거
Film Etching
고객사의 Silicon Wafer
표면에 존재하는 Film 제거 -
세정
Cleaning
고객사의 Silicon Wafer 및
SIC, Quartz 세정공정 진행 -
측정
Particle & Metal Count
고객사의 웨이퍼 표면
파티클 및 메탈성분을 제이쓰리
장비로 측정 Particle (SP2),
Metal (ICP-MS) -
스페이서 웨이퍼
Dummy (Spacer) Wafer
1차폴리싱 공정(연마) 후
세정한 웨이퍼 -
품질보증 웨이퍼
Guarantee Wafer
고객의 주문에 따라 원하는
사양에 맞추어 가공 후
파티클 및 메탈을 보증한
품질보증 제품
주요제품
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- 품질보증 웨이퍼
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- 스페이서 웨이퍼
